PARTICLE TEST
▶︎ 시험의 목적 및 적용

* 이 시험의 목적은 클린룸의 공기 청정도 등급을 KS M ISO 14644-1의 규정에 따라 평가한다.

* 0.5μm 범위에 있는 공기부유입자의 농도 측정에 대하여 규정한다.

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